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[03/07/03]아텍시스템, 우수 논문상 수상 
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[03/09/03] 아텍시스템, 질화막증착을 위한 진공아크 양산장비 추가 공급
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[03/11/10]아텍시스템, 대용량 평면광원 테스트 장비 생산
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[04/01/05]아텍시스템, 연구전용 표준스퍼터 장비 개발 완료
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[04/03/30]아텍시스템, 독일의 프라운호퍼 연구소와 펄스마그네트론 스퍼터 장비 공동개발하기로 합의
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[04/05/22] 아텍시스템, 2004년도 한국표면공학회에서 PVD 및 CVD 장비전시
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[04/07/29]아텍시스템, 미국의 Atomate사와 nanotube 및 nanowire 분야 파트너쉽 체…
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[04/08/25] 아텍시스템, 수출유망중소기업으로 지정됨
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[04/11/15]아텍시스템, THE OLA 2004(Nov 11-13, Nashville, USA) 전시회…
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[05/01/10]아텍시스템, 해외로부터 펄스 반응성 스퍼터, 직류 스퍼터, 나노와이어 CVD 장비 수주 받…
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[05/02/14]아텍시스템, 370mmx470mm 기판 처리용 인라인 스퍼터 장비 생산 
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[05/05/04]아텍시스템, 정밀금형의 이형코팅 스퍼터 장비 개발
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[05/10/20]아텍시스템, Atomate(USA)와 공동으로 MOCVD 장비 개발 완료
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[05/11/04]아텍시스템, 생산기술연구원과 공동으로 NPPN(New Post Plasma Nitridin…
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[05/11/26]아텍시스템 신축공장 준공
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