[03/04/11]아텍시스템, 홈페이지 고객지원란의 기술자료 업데이트
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작성자 AT시스템
작성일10-01-08 17:37
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아텍시스템 홈페이지의 고객지원을 위한 기술자료가 수정 및 추가되었다.
수정된 부분은 "진공의 기초", "진공 형성", "Etcher의 원리", "CVD의 원리", "Ion Gun의 원리" 등이며,
추가된 자료는 "Pumping speed"로 진공장비의 배기 속도를 계산할 수 있는 내용을 실었다.
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