[03/5/30] 아텍시스템, 한국반도체장비학회 춘계학술대회(2003년 5월 30일)에 논문 1편 발표
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작성자 AT시스템
작성일10-01-08 17:37
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당사는 호서대학교에서 개최된 한국반도체 장비학회 2003년 춘계학술대회에
"비정질 실리콘 박막 증착용 고밀도 플라즈마 화학증착장비"의 제목으로 논문을 발표하였다.
이번에 발표된 논문은 전자부품연구원의 나노에너지센터와 공동으로 연구한 내용과 결과로 이루어졌고,
발표는 아텍시스템에서 하였다.
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