[04/11/15]아텍시스템, THE OLA 2004(Nov 11-13, Nashville, USA) 전시회에 반응성 스퍼터 …
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작성자 AT시스템
작성일10-01-08 17:52
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아텍시스템은 미국 Nashville에서 개최된 THE OLA 2004에 광학코팅용 반응성 스퍼터 장비를 출품하였다.
본 장비는 주로 광학렌즈의 무반사 코팅용으로 개발된 것이다.
일반적으로 스퍼터링 방식의 다층박막 제조공정은 전자빔 진공증착 방법으로 얻어진 박막에 비해
내구성이 우수할 뿐 만 아니라, 코팅 공정의 재현성에 있어서도 우수한 것으로 알려지고 있다.
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