[06/04/25]아텍시스템, 정밀광학용 이온빔스퍼터 장비 개발
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작성자 AT시스템
작성일10-01-08 18:06
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DATE : 2019-11-28 12:13:56
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아텍시스템은 최근 neutron 미러 및 EUV 다층반사막 제조가 가능한
UHV IBS (ultra high vacuum ion beam sputter) 장비 개발을 완료하였다.
본 장비의 생산을 기점으로 EUV projection lithography 및 soft x-ray 광학시스템 분야로의
PVD 장비개발에도 박차를 가할 예정이다.
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