[09/08/30] 아텍시스템, Graphene PECVD 장비 개발완료
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작성자 AT시스템
작성일10-02-19 11:15
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DATE : 2019-11-28 12:05:05
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아텍시스템은 최근 투명전극, 센서 및 메모리 디바이스 등의 응용 가능성으로
크게 연구개발 수요가 늘고 있는 graphene장비를 개발하여 국내외 고객들에게 판매를 시작하였다.
본 장비는 원자층 증착공정과 결합되어 graphene 박막 이외에도
boron carbide 등 다양한 박막을 제작할 수 있도록 설계제작되었다.
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