[10/01/12] 인하대 정지원 교수팀과 아텍시스템, UNITEF로부터 우수 연구상 수상
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작성자 AT시스템
작성일10-02-19 11:16
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인하대 정지원 교수팀과 아텍시스템이 공동연구한
태양전지용 투명전극개발 사업이 UNITEF로부터 우수과제로 선정되었다.
본 과제는 아텍시스템에서 제작된 마그네트론 스퍼터 장비(FlexLab System 100)를 이용하여
인하대 정지원 교수팀이IZO(indium zinc oxide), AZO(aluminum zinc oxide), IZTO(indium zinc tin oxide)
박막에 대한 공정최적화를 수행하는 것이 주요 골자이다.
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