아텍시스템, 다층자성박막 제조용 UHV-Sputter 장비생산
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작성자 AT시스템
작성일10-01-08 17:31
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아텍시스템은 3" 스퍼터건을 주챔버에 7개,
로드락챔버에 1개 장착시켜 MRAM 및 하드디스크 헤드용으로 사용되는
Al/CoFe/IrMn/NiFe/Ta/Si 다층자성박막 증착을 위한 초고진공스퍼터 장비를 생산한다.
(경우에 따라 다층박막내 Ru, Hf 막이 첨가됨.)
이 장비는 고진공 펌프로 터보펌프만을 사용하여 기저압력을 ~E-9 Torr 까지 낮출 수 있고,
진공을 깨지 않고 2개 이상의 금속마스크를 교체할 수 있는 특징을 갖고 있다.
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