[10/03/19] 알루미늄 플라즈마 질화 장비 개발
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작성자 AT시스템
작성일10-03-19 07:38
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DATE : 2019-11-28 12:04:05
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아텍시스템은 한국 생산기술연구원과 공동연구를 통해 양산규모의 알루미늄 플라즈마 질화 장비를 개발 완료하였다.
본 장비의 경우 철계 질화 및 플라즈마 CVD도 수행할 수 있어 DLC 박막 코팅도 수행할 수 있도록 설계되었다.
최근에는 연료전지 분리판, 플라즈마 에칭장비의 기판홀더, 자동차용 부품, LED 패키징 부품 등으로의 알루미늄 플라즈마 질화 응용이 활발히 시도 되고 있다.
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