공지사항

공지사항

[10/03/19] 알루미늄 플라즈마 질화 장비 개발

페이지 정보

작성자 AT시스템
작성일10-03-19 07:38 조회1,282회 댓글0건

첨부파일

본문


아텍시스템은 한국 생산기술연구원과 공동연구를 통해 양산규모의 알루미늄 플라즈마 질화 장비를 개발 완료하였다. 

본 장비의 경우 철계 질화 및 플라즈마 CVD도 수행할 수 있어 DLC 박막 코팅도 수행할 수 있도록 설계되었다. 

최근에는 연료전지 분리판, 플라즈마 에칭장비의 기판홀더, 자동차용 부품, LED 패키징 부품 등으로의 알루미늄 플라즈마 질화 응용이 활발히 시도 되고 있다.
 

 

댓글목록

등록된 댓글이 없습니다.