아텍시스템, 질화막 증착을 위한 진공아크 양산장비 생산
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작성자 AT시스템
작성일10-01-08 17:33
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아텍시스템은 금속타겟을 8개 장착시켜 금속질화막을 증착시킬 수 있는 진공아크 양산장비를 생산한다.
이 장비는 주로 내마모코팅막으로 사용되는 TiN 및 CrN 박막 제조에 많이 이용될 예정이다.
증착시 회전되는 시편홀더에 10-100 kHz의 펄스바이어스 전원이 인가되는 것을 특징으로 한다.
특히 본 장비는 당사가 보유하고 있는 아크방전원의 설계기술을 이용한 것이어서,
향후 질화막 코팅장비 분야에서 높은 경쟁력을 확보할 수 있을 것으로 기대된다.
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